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国家自然科学基金(60671021)

作品数：1 被引量：4H指数：1
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题名
作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇碳纳米管
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米材料
  • 1篇纳米管
  • 1篇互连

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇山东理工大学

作者

  • 1篇魏芹芹

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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碳纳米管互连的研究进展被引量：4
2012年
随着集成电路的不断发展,电路中互连线规模越来越大,尺寸越来越小,需要承受的电流密度越来越大。在这种趋势下,传统的铜互连线的有效性和可靠性都随之变差。由于碳纳米管具有良好的电学,热学和机械性能,使其成为目前研究较热的互连材料之一。本文概述了碳纳米管用于集成电路互连的优势,碳纳米管互连的电路模型,碳纳米管互连面临的挑战及其最新的研究进展,并展望了碳纳米管作为集成互连的研究前景。
魏芹芹
关键词：纳米材料碳纳米管互连
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