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天津市科技发展战略研究计划项目(06YFGX02100)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：孙建黄宇耿新华马铁华赵颖更多>>
相关机构：河北省信息产业厅中北大学南开大学更多>>
发文基金：天津市自然科学基金天津市科技发展战略研究计划项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇中频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇ZNO:AL
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇南开大学
  • 1篇中北大学
  • 1篇河北省信息产...

作者

  • 1篇熊强
  • 1篇薛俊明
  • 1篇赵颖
  • 1篇马铁华
  • 1篇耿新华
  • 1篇黄宇
  • 1篇孙建

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
中频脉冲磁控溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜被引量：7
2006年
采用中频磁控溅射工艺，以2％的Al掺杂的Zn（纯度99．99％）金属材料为靶材制备平面及绒面透明导电ZnO：Al（ZAO）薄膜，系统研究了衬底温度、工作气压和溅射功率等对平面ZAO结构和光电特性的影响，并对湿法腐蚀制备绒面ZAO薄膜进行了介绍。获得了适合太阳电池的高性能薄膜，其电阻率为4．6×10^-4Ω·cm，载流子浓度为4．9×10^20cm^-3，霍尔迁移率为56cm^2／V·s，可见光范围内（400～800nm）的平均透过率大于85％。
黄宇孙建薛俊明马铁华熊强赵颖耿新华
关键词：中频磁控溅射衬底温度
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