国家高技术研究发展计划(2004AA4045)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
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- 相关机构：中国科学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统被引量：4
- 2007年
- 原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展。基于原子力显微镜中的一个最基本的力—位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试。相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取。
- 鲍海飞李昕欣张波郭久福韩建强
- 关键词：原子力显微镜硬件软件悬臂梁力学测试
