国家自然科学基金(50172051)
- 作品数：3 被引量：18H指数：3
- 相关作者：孙超陆峰闻立时徐成海宫骏更多>>
- 相关机构：中国科学院金属研究所东北大学沈阳建筑大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究被引量：5
- 2005年
- 为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测试分析。结果表明:所制备的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶体结构;沉积在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量则相反;在两种衬底上获得的ZAO薄膜电阻率分别为4.5×10-4Ω·cm和9.73×10-4Ω·cm,可见光透射率分别达到87.7%和81.5%。由此可见:用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都能获得可见光透射率达到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃衬底上获得的ZAO薄膜电阻率低,而在透明聚酯塑料上沉积的ZAO薄膜透射性好。
- 陆峰徐成海闻立时曹洪涛裴志亮孙超
- 关键词：ZAO薄膜衬底直流磁控溅射电阻率透射率
- 外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究
- 采用外加电磁线圈直流磁控溅射法低温制备了ZnO:Al透明导电薄膜, 研究了不同沉积参数对AZO薄膜电学性能的影响。通过改变外加同轴线圈磁场来改变基片处等离子体密度,并用Langmuir探针进行了测量。研究结果表明:低温沉...
- 张小波裴志亮肖金泉宫骏孙超
- 关键词：ZNO:AL透明导电薄膜反应溅射电磁线圈
- 文献传递
- 稳定剂对溶胶凝胶制备的氧化锌薄膜致密度的影响被引量：5
- 2007年
- 采用溶胶凝胶法制备了ZnO薄膜,利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对薄膜的表面形貌和晶体结构进行了表征。并通过紫外可见分光光度计测量了薄膜在可见光区的透过率,根据这一结果计算了薄膜的相对致密度,结果表明:采用不同的稳定剂时,薄膜的形貌、择优取向以及相对致密度均会发生变化;单乙醇胺作为稳定剂时,薄膜的致密度和择优取向最好。初步探讨了稳定剂对薄膜的致密度的影响。
- 朱明伟黄辉宫骏孙超姜辛
- 关键词：溶胶凝胶稳定剂
- ZAO透明导电纳米薄膜中Al元素分布对其性能的影响被引量：8
- 2003年
- 主要对直流反应磁控溅射法制备ZAO纳米薄膜中Al元素的相对含量进行了分析,对其作了EDS,XRD测试,并研究了Al质量分数与ZAO薄膜的光、电性能的关系·得出ZAO薄膜中成分是均匀的,具有ZnO晶体结构;Al元素的掺杂没有形成新的化合物(Al2O3),Al对Zn的掺杂替换是提高ZAO薄膜导电性能的关键因素,对薄膜在可见光区的透射性影响不大·制备的薄膜最低电阻率为4 5×10-4Ω·cm,可见光透射率达到80%以上·
- 陆峰徐成海孙超闻立时
- 关键词：AL元素ZAO薄膜EDSXRD氧化锌薄膜铝元素
