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黑龙江省自然科学基金(E0306)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：孙涛闫永达董申更多>>
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相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇金属学及工艺

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇塑性
  • 2篇塑性加工
  • 2篇纳米
  • 2篇AFM

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇董申
  • 2篇闫永达
  • 2篇孙涛

传媒

  • 1篇中国机械工程

年份

  • 2篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
采用AFM研究单晶硅纳米加工特性
为获得AFM金刚石微探针在纳米尺度上加工脆性材料的加工特性,在AFM系统上对单晶硅表面进行了刻划、加工实验。实验结果与宏观车削加工结果进行了对比,得出在纳米尺度上进行的加工属塑性城加工。采用AFM金刚石微探针加工硅表面的...
闫永达孙涛董申
关键词：单晶硅塑性加工
文献传递
采用AFM研究单晶硅纳米加工特性
2005年
为获得AFM金刚石微探针在纳米尺度上加工脆性材料的加工特性,在AFM系统上对单晶硅表面进行了刻划、加工实验.实验结果与宏观车削加工结果进行了对比,得出在纳米尺度上进行的加工属塑性域加工.采用AFM金刚石微探针加工硅表面的加工质量主要受材料残留高度和形成的切屑在已加工表面的粘结两个因素影响.验证了AFM作为一种加工工具,受其刻划方向的影响,可以很容易地实现纳米量级材料的去除,得到厚度为数个纳米的切屑.
闫永达孙涛董申
关键词：单晶硅塑性加工
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