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内蒙古自治区高等学校科学研究项目(NJ10075)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：冯蕾史志铭冀国俊赵鸽李敏更多>>
相关机构：内蒙古工业大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇AFM

机构

  • 1篇内蒙古工业大...

作者

  • 1篇李敏
  • 1篇赵鸽
  • 1篇冀国俊
  • 1篇史志铭
  • 1篇冯蕾

传媒

  • 1篇内蒙古工业大...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
二氧化锆薄膜的AFM研究被引量：1
2012年
本文采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基体表面制备了一、二、三层ZrO2薄膜。X射线衍射(XRD)分析表明,经500℃烧结热处理后ZrO2的晶体结构为单斜相和四方相的混合相。通过原子力显微镜(AFM)对ZrO2薄膜的厚度和表面形貌进行研究表明,一、二、三层ZrO2薄膜的厚度分别约为50nm、80nm和100nm;并且,随着薄膜厚度的增加,ZrO2薄膜表面由多孔结构变为紧密、均匀分布的颗粒状结构,薄膜的表面粗糙度也逐渐减小。
冀国俊李敏史志铭冯蕾赵鸽
关键词：溶胶-凝胶AFM
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