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韶关市科技计划项目(2004-14)
韶关市科技计划项目(2004-14)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 相关作者：黄元盛邱万奇罗承萍陈灵刘宏伟更多>>
- 相关机构：韶关学院华南理工大学广西大学更多>>
- 发文基金：韶关市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
- 球形金刚石的生长机理研究
- 2007年
- 用热丝化学气相沉积设备研究了钢渗铬层、P-Si(100)基片和三氧化二铝基底表面形成的球形金刚石.研究结果表明:在不适合球形金刚石形成的工艺条件下,在P-Si(100)基片和三氧化二铝表面沉积的晶形很好的金刚石膜中也存在球形金刚石团块(称为异常长大金刚石团块);首次使用金刚石“异常晶核”解释了异常长大金刚石团块的形成.球形金刚石膜由异常长大金刚石团块组成.异常长大金刚石团块的形成不但与沉积工艺参数有关,而且与CVD金刚石生长特性有关.
- 黄元盛邱万奇罗承萍
- 关键词：气相沉积
- 一种四指数晶向的直观作图方法
- 2006年
- 利用四指数倒易点阵建立了一种四指数晶向的简单直观的作图方法,并从理论上给予证明.
- 黄元盛刘宏伟
- 关键词：倒易点阵
- CVD金刚石的晶体形态及界面位向关系被引量：3
- 2007年
- 综述了CVD金刚石的晶体形态及界面位向关系。用SEM观察CVD金刚石晶粒形态主要有立方体、长方体、八面体、立方八面体、孪晶八面体、十面体和二十面体颗粒以及球形金刚石,讨论了晶粒的形成条件。用TEM观察则主要有单晶体、孪晶八面体和五重孪晶体形态。界面位向关系主要有:Si(001)//Diamond(001),Si<110>//Diamond<110>;Si(111)//Diamond(111),Si<110>//Diamond<110>和Si(110)//Diamond(110),Si[110]//Diamond[111]。
- 黄元盛刘宏伟邱万奇罗承萍陈灵
- 关键词：金刚石晶体形态
- CVD金刚石的形核和生长被引量：4
- 2006年
- 应用自制的热解丝CVD装置,研究了在金刚石沉积过程中改变甲烷浓度对其形核和生长的影响。结果表明,金刚石形核后,增加甲烷浓度,仍然可以在硅基底表面继续形成新的晶核。但是甲烷浓度由0.6%逐渐增加到1.2%时,所得最终形核密度比一开始就将甲烷浓度设为1.2%的形核密度低。新晶核比先形成的晶核具有较大的长大速度,随后所有晶核尺寸逐渐趋向相同。
- 黄元盛邱万奇罗承萍陈灵
- 关键词：化学气相沉积金刚石形核
