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国家自然科学基金(60506020F040208)
作品数:
1
被引量:2
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相关作者:
史江一
郝跃
马晓华
朱志炜
方建平
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史江一
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2006
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超深亚微米高速互连的信号串扰研究
被引量:2
2006年
探讨了超深亚微米设计中的高速互连线串扰产生机制,提出了一种描述高速互连串扰的电容、电感耦合模型,通过频域变换方法对模型的有效性进行了理论分析。针对0.18μm工艺条件提出了该模型的测试结构,进行了流片和测量。实测结果表明,该模型能够较好地表征超深亚微米电路的高速互连串扰效应,能够定量计算片上互连线间的耦合串扰,给出不同工艺的互连线长度的优化值。
史江一
马晓华
郝跃
方建平
朱志炜
关键词:
串扰
互连
超深亚微米
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