国家重点基础研究发展计划(2009CB929401)
- 作品数：1 被引量：6H指数：1
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- PECVD法生长SiO2薄膜工艺优化
- SiO2薄膜具有绝热性好、光透过率高、抗腐蚀能力强、良好的介电性质等特点,SiO2薄膜已广泛应用在制作电子器件和集成器件、光学薄膜器件、传感器等诸多领域。采用等离子增强型化学气相沉积（PECVD）方法,在GaAs衬底上制...
- 宋平连洁高尚李萍王晓吴仕梁马峥
- 关键词：PECVD椭偏仪折射率
- 文献传递
- 近红外激光照明器均匀性评价技术研究被引量：6
- 2013年
- 近红外激光照明是在低照度情况下,用近红外激光作为光源对远距离目标进行主动照明.由于激光的产生机制、匀光装置和照明器采用的光学系统公差、大气湍流等因素,近红外激光光束在目标面上的光强空间分布不均匀,对成像、观测准确度产生较大影响.本文提出采用近红外激光光强功率谱衡量照明近红外激光光强分布均匀性,即采用归一化后光强功率谱所围成的面积作为衡量近红外激光照明均匀性的参量.利用这种方法,对不同的近红外激光照明器,在相同的工作状态下的照明均匀性评估参量进行了研究,结果验证了采用归一化后光强功率谱所围成的面积作为评价参量的合理性.
- 王英顺连洁高尚王晓孙兆宗
- 关键词：功率谱
- 衬底温度对PECVD法生长SiO2薄膜性能影响的研究
- 使用等离子增强型化学沉积法（PECVD）制备SiO2薄膜具有诸多优点。如何减少产物中的杂质元素以获得更高质量的SiO2薄膜是一个很值得研究的问题。此次实验使用PECVD法在砷化镓衬底上制备二氧化硅薄膜。通过X射线光电子能...
- 高尚连洁宋平马铮王晓吴仕梁
- 关键词：二氧化硅薄膜椭偏测量X射线光电子能谱
- 文献传递
- 分子束外延生长超薄铝膜光学常数的研究
- 随着集成光学与微电子学的发展,超薄金属膜性质的研究变得越来越重要。超薄金属膜的光学常数对薄膜厚度的灵敏性给光学常数的测量带来了困难。尤其是对于10nm以下的超薄金属膜的研究,常常受制于实验条件而无法得到精确的结果。此次实...
- 高尚连洁宋平李萍马铮王晓吴仕梁
- 关键词：表面光学光学常数分子束外延椭偏测量
- 文献传递
