您的位置： 专家智库 > >

国家重点基础研究发展计划(2011CB301802)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：汪波王向贤傅强明海陈漪恺更多>>
相关机构：巢湖学院中国科学技术大学更多>>
发文基金：中国科学技术大学青年创新基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇阵列
  • 1篇紫外发光二极...
  • 1篇光刻
  • 1篇光学
  • 1篇光学制造
  • 1篇二极管
  • 1篇发光
  • 1篇发光二极管
  • 1篇LED

机构

  • 1篇巢湖学院
  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇胡继刚
  • 1篇张斗国
  • 1篇陈漪恺
  • 1篇明海
  • 1篇傅强
  • 1篇王向贤
  • 1篇汪波

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用被引量：5
2012年
优化设计了365nm紫外LED点光源阵列、聚焦透镜组的排布,实现了高强度均匀辐照的LED面光源。利用优化后的365nm LED面光源进行了接触式曝光光刻实验,所得刻写图形与掩模板图形一致。提出的基于365nm紫外LED阵列均匀辐照面光源的光刻方法具有结构简单、节能、环保等优势。
王向贤汪波傅强陈漪恺胡继刚张斗国明海
关键词：光学制造紫外发光二极管阵列光刻
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0