国家科技重大专项(2009ZX02011001)
- 作品数：12 被引量：66H指数：6
- 相关作者：刘丁赵跃梁炎明张新雨焦尚彬更多>>
- 相关机构：西安理工大学西安建筑科技大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺理学自然科学总论更多>>
- 一种检测单晶炉热场温度的新方法被引量：1
- 2014年
- 为去除单晶炉热场温度测量信号中的低频干扰、提高温度信号的估计精度,本文提出了一种基于跨维模拟退火(trans dimensional simulated annealing,TDSA)的单晶炉热场温度检测方法.该方法首先将AIC(Akaike information criterion)信号个数判断准则纳入采样机制中以便对干扰个数采样估计,进而利用所设计的基于信号频谱和轮盘赌思想的Metropolis Hastings机制对相应个数的干扰频率进行采样,最后设计了混合均匀和高斯采样机制对单晶炉热场温度进行采样估计.仿真和单晶炉工程实验结果表明,该方法在干扰个数未知的情况下,能够有效地抑制低频干扰、准确检测单晶炉热场的温度.
- 张新雨刘丁汪姣李琦
- 关键词：单晶炉低频干扰最大似然准则最小二乘法
- 规则递归T-S模糊模型及其辨识方法被引量：1
- 2012年
- 针对传统T-S模糊模型不能较好描述系统时变特性的问题,提出了一种基于递归策略的动态T-S模糊模型及其辨识方法.规则递归T-S模糊模型在传统T-S模糊模型基础上,增加了具有一定权重的反馈环节,该环节对当前激励强度与前一时刻激励强度进行加权和得到当前时刻新的规则激励强度,从而实现动态递归变化,有效描述了系统的动态过程.为使规则递归T-S模糊模型具有较少的规则数量和较好的泛化能力,前件参数采用一种基于规则激励强度的模糊聚类算法获得,而后件和递归环节参数则采用一种由支持向量机和粒子群优化算法组成的联合辨识方法获得.Box-Jenkins煤气炉的仿真结果表明,规则递归T-S模糊模型及其辨识方法具有较好的动态描述能力,与混合聚类方法相比,均方差降低了1.2%.
- 梁炎明刘丁
- 关键词：T-S模糊模型模糊聚类支持向量机粒子群优化
- 基于自适应重叠系数的T-S模型在线辨识算法及应用被引量：4
- 2012年
- 为使T-S模型在线辨识时能够更加合理地划分模糊空间,提出一种根据相邻聚类中心距离确定模糊空间重叠系数的方法,将该方法与一次完成最小二乘法、递推最小二乘法相结合,得到了一种辨识精度较高的T-S模型在线辨识算法,以某型号单晶炉热场的实际运行数据为对象,应用所提出的算法对热场模型进行在线辨识,辨识结果表明,由该辨识算法得到的单晶炉热场模型具有较高的精度。
- 梁炎明刘丁伍光宇
- 关键词：T-S模型在线辨识聚类最小二乘
- 多对流耦合环境下Cz-Si固液界面形态的仿真方法及控制参数研究被引量：3
- 2012年
- 固液界面形态是各种晶体生长研究的关键,固液界面形态问题是一个移动边界问题。然而在Cz-Si系统中,移动边界问题又与对流耦合,尤其是与晶体旋转所引起的强迫对流直接耦合,构成了含有第三方耦合因素的移动边界问题。本文提出一种基于FVM的迭代法解决此问题,对多流耦合环境下的固液界面形态进行了仿真和研究,分析了晶体旋转对界面形态的影响。最终将仿真结果与采用快速提离法在实践中获得的界面形态进行对比,取得了一致性。
- 姜雷刘丁赵跃刘志尚
- 关键词：直拉硅单晶迭代法
- CZ法制备单晶硅相变界面形状演变及控制研究被引量：5
- 2014年
- 建立描述CZ-Si系统中动量、热量和质量同时传递,且流固耦合的模型,数值模拟CZ法制备单晶硅等径过程中在热传导、热对流等因素耦合作用下的固液相变问题,给出相变界面形状的演变过程。计算结果表明,等径前期和中期相变界面形状变化主要是由于晶体散热的改变,后期则是由于熔体中自然对流和强迫对流关系的反转。从全局的角度分析改善界面形状的控制方法,提出变晶转制备工艺。
- 姜雷刘丁赵跃焦尚彬
- 关键词：固液界面数值模拟直拉法单晶硅
- 直拉硅单晶生长过程建模与工艺参数优化
- 直拉硅单晶是半导体行业最重要的基础材料，半导体集成电路器件对硅材料行业提出了生产大直径、高品质硅单晶的要求。本文正是在这样背景下，以如何建立晶体微观品质与宏观控制参数之间的关系为问题驱动，从生长界面形态（微观）、拉速与温...
- 张晶
- 关键词：直拉硅单晶半导体材料晶体生长数值模拟工艺参数
- 直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究被引量：6
- 2013年
- 放肩是直拉法生长硅单晶保持无位错生长的过程,是晶体能够顺利进入等径生长的关键。生产实践中发现,在放肩前段经常出现液流线切入晶体随之变晶的现象。本文提出了放肩前期的变晶转拉晶工艺,采用有限元数值模拟的方法计算出熔体热对流及温度分布,给出了固液界面附近熔体中的流速变化规律,解释了液流线的成因,通过仿真结果和拉晶实验结果表明该方法的有效性。
- 张晶刘丁赵跃焦尚彬
- 关键词：直拉硅单晶放肩有限元数值模拟
- 基于自适应陷波的直拉单晶直径跟踪被引量：7
- 2010年
- 为抵消单晶生长过程中晶体直径测量信号存在的周期性干扰,提出一种适合晶体直径测量信号的自适应陷波滤波方法。该方法采用抵消低频分量、保留高频分量的思想建立滤波器优化函数,利用一种改进的粒子群优化算法优化该函数获得周期性干扰的逼近信号,并用此逼近信号抵消周期性干扰。实验结果表明,所提出的滤波方法能有效跟踪直拉单晶直径的变化,精度优于常用的滤波方法,所提出的粒子群优化算法能够使滤波器系数较快收敛。
- 梁炎明刘丁任海鹏赵跃
- 关键词：周期性干扰粒子群优化
- 基于人工鱼群霍夫变换的单晶硅直径检测被引量：13
- 2014年
- 为提高单晶硅直径检测的速度和精度,首先将单晶硅直径检测转换为在图像中对高亮光环进行椭圆检测的问题,并依据此提出了一种基于人工鱼群霍夫变换的椭圆检测方法,该方法在参数空间中由人工鱼群算法搜索霍夫变换之后使得累加器达到最大值的椭圆参数最优解,从而得到精确的单晶硅直径测量值。最后通过基于带有高斯白噪声的完整椭圆、不完整椭圆的仿真实验和单晶硅直径检测工程实验进行验证,并且和5种传统方法(最小二乘法、霍夫变换、随机霍夫变换、粒子群霍夫变换和RANSAC)进行对比。实验结果表明,所提方法有效地提高了霍夫变换椭圆检测的速度和精度,从而提高了单晶硅直径检测的速度和精度。
- 张新雨刘丁杨文杨延西
- 关键词：单晶炉人工鱼群算法霍夫变换
- 一种T-S模糊模型的自组织辨识算法及应用被引量：8
- 2011年
- 提出了一种新的具有自适应学习能力的T-S模糊模型辨识算法。该算法通过使同一条规则的高斯函数的宽度参数彼此相等建立与支持向量机等效的T-S模糊模型,在此基础上,利用模糊聚类算法和支持向量机分别建立前后件辨识模型,并利用一种改进粒子群优化算法优化输出误差函数使前后件参数联合辨识,从而获得T-S模糊模型的结构和参数。仿真结果表明,相比其它方法,文中方法具有较高的逼近精度和较好的泛化能力,由此算法获得的直拉单晶炉热场模型具有0.1171的均方差,完全符合均方差小于0.5的要求。
- 梁炎明刘丁
- 关键词：自组织支持向量机模糊聚类粒子群优化
