您的位置： 专家智库 > >

中央高校基本科研业务费专项资金(DUT11LK46)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：刘欣骆英民胡礼中赵宇邱宇更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金辽宁省教育厅高校重点实验室项目国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化锌
  • 1篇气相沉积
  • 1篇微米
  • 1篇开关比
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇ZNO
  • 1篇CVD法

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇张贺秋
  • 1篇邱宇
  • 1篇赵宇
  • 1篇胡礼中
  • 1篇骆英民
  • 1篇刘欣

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
ZnO微米刺球的CVD法生长及其在压电应力传感器中的应用被引量：2
2013年
利用化学气相沉积(CVD)方法生长出一种新颖的氧化锌(ZnO)微米刺球状结构,并使用该结构制备出一种新型压电应力传感器件。使用半导体特性分析系统(Keithley 4200)对器件特性进行测试,结果表明该种器件对所施加的应力高度敏感,开关比高达约60,比目前多数ZnO基压电应力传感器件高出数倍,在应力检测和机电开关等领域有很好的应用前景。
刘欣胡礼中张贺秋邱宇赵宇骆英民
关键词：氧化锌化学气相沉积开关比
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0