“上海－应用材料研究与发展”基金(0515)
- 作品数：7 被引量：11H指数：2
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- 相关领域：电气工程理学电子电信更多>>
- MEMS技术制作的螺线管微电感被引量：1
- 2006年
- 考虑和分析了螺线管微电感的几何结构参数对微电感性能的影响,利用MEMS技术制作了四种不同几何结构的高性能射频螺线管微电感。这些微电感采用铜线圈,以减小线圈寄生电阻,且制作工艺简单,成本低,与IC相兼容。测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有较高的Q值,在频率分别为6 GHz,4.4 GHz,5.8 GHz和5.6 GHz,微电感Q峰值为38,19.1,24.1和21.9,所对应的电感量为1.81 nH,1.07 nH,1.03 nH和1.17 nH。
- 方东明周勇赵小林王西宁
- 关键词：微机电系统品质因素射频
- 高性能螺线管微电感的制作被引量：2
- 2006年
- 利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1·82nH.
- 方东明周勇赵小林
- 关键词：射频微机电系统品质因素
- CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜的巨磁阻抗效应研究被引量：1
- 2006年
- 利用射频磁控溅射技术及微细加工技术制备了三明治结构的CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜,在频率l～40MHz下研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应,结果表明曲折状三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应比单层膜有较大的提高。在交流电流频率5MHz,外加直流磁场100Oe下巨磁阻抗变化率达17.3%。
- 张桂林周勇周志敏
- 关键词：巨磁阻抗微机电系统
- 静电驱动可调微机械电容被引量：1
- 2007年
- 利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKONT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31:1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.
- 方东明付世周勇赵小林
- 关键词：可调电容射频微机电系统品质因数
- 磁芯螺线管微电感的计算机模拟被引量：3
- 2007年
- 采用电磁场理论建立了FeNi磁芯螺线管微电感的物理模型,并对交流载荷下的微电感进行了模拟.通过与磁芯厚度为10、20、30和40μm的微电感的实验结果对比,表明该物理模型能够较准确地模拟磁芯螺线管微电感的主要损耗,进而可计算微电感的电感量和品质因子.模拟结果与实验符合较好.
- 郭绍寅周勇周志敏曹莹丁文
- 关键词：螺线管微电感磁芯物理模型
- 曲折状CoFeSiB三明治薄膜及其巨磁阻抗效应
- 2007年
- 利用射频磁控溅射技术及MEMS技术,制备了曲折状三明治结构的CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜,在l～40 MHz频率下,研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应以及相应的电阻、电抗变化率。结果表明:曲折状三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应,比单层膜有较大的提高,纵向和横向最大GMI效应分别为12.2%和–18.6%。
- 张桂林周勇周志敏
- 关键词：电子技术巨磁阻抗MEMS
- 射频螺线管微电感的设计和仿真被引量：4
- 2006年
- 为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.
- 方东明赵小林王西宁周勇
- 关键词：HFSS品质因素射频微机电系统
