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中国工程物理研究院基金(20040215)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：马兆侠冯建鸿吴卫东程新路唐永建更多>>
相关机构：中国工程物理研究院四川大学更多>>
发文基金：中国工程物理研究院基金高温高密度等离子体物理国家重点实验室更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 1篇多通道
  • 1篇质量流量计
  • 1篇梯度薄膜
  • 1篇气相沉积
  • 1篇自动化
  • 1篇自动化控制
  • 1篇流量计
  • 1篇控制仪
  • 1篇控制仪器
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶碳
  • 1篇VB界面
  • 1篇溴
  • 1篇并口

机构

  • 2篇四川大学
  • 2篇中国工程物理...

作者

  • 2篇唐永建
  • 2篇程新路
  • 2篇吴卫东
  • 2篇冯建鸿
  • 2篇马兆侠
  • 1篇杨向东

传媒

  • 1篇工业控制计算...
  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
VB界面下用并口实现多通道质量流量计自动化控制
2005年
分析了MKS公司生产的气体流量控制系统247CFour-ChannelReadout的工作原理,并通过实验得出系统的工作曲线,并设计出该仪器与PC并口的接口电路。控制软件用VB高级语言编写,界面友好,操作简便。其实现方法可供一般微电压信号控制仪器的自动化改进参考。
马兆侠吴卫东程新路冯建鸿唐永建
关键词：并口自动化控制自动化控制VB界面质量流量计并口多通道控制仪器
掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析被引量：2
2007年
采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷、氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜。通过样品的XPS能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气流量、溴元素原子分数与溴乙烷流量以及溴元素原子分数与刻蚀时间之间的关系,得出了溴乙烷流量、刻蚀时间对薄膜的主要键态含量、C元素sp2/sp3键态杂化比和薄膜硬度的影响。结果表明:薄膜沉积速率随氢气流量的增加而线性减小,溴元素含量随溴乙烷流量的增加先增加后降低,刻蚀时间越长,溴乙烷流量越小,薄膜越硬。
马兆侠吴卫东冯建鸿程新路唐永建杨向东
关键词：化学气相沉积非晶碳
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