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福建省工业科技重点项目(2006H0036)
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
相关作者:
赖虹凯
周志玉
周志文
余金中
陈松岩
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相关机构:
厦门大学
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发文基金:
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Ge/Si(100)量子点生长与形态分布的研究
<正>在 S—K模式下自组装生长的 Ge 量子点具有随机分布的特点,很难达到器件的应用要求,制备有序性的 Ge 量子点成为提高器件性能的关键。本文利用超高真空化学气相淀积(UHV—CVD)系统, 通过控制淀积量、温度、流...
周志玉
王钰
周志文
李成
陈松岩
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赖虹凯
文献传递
低温Ge作缓冲层的高组份SiGe弛豫衬底生长研究
<正>Si 基 SiGe 合金和纯 Ge 材料具有良好的光电热性能,并且与 Si 工艺兼容,在微电子和光电子器件方面得到了广泛应用,如异质结双结型晶体管,应变 Si、SiGe 和 Ge 高迁移率 MOS 管,近红外1.3...
周志文
蔡志猛
张永
周笔
林桂江
赖虹凯
李成
陈松岩
余金中
文献传递
Ge/Si(100)量子点生长与形态分布的研究
被引量:7
2008年
利用超高真空化学气相淀积系统,通过控制淀积量、温度、流量等生长参数,在n型Si(100)衬底上自组装生长了一系列Ge量子点样品,用原子力显微镜进行了表征与分析。系统地研究了生长参数对Ge岛形态分布的影响并分析了有序、高密度Ge岛的生长机理。结果表明,从二维向三维岛跃迁后,最初形成的高宽比(高度与底宽的比值)在0.04~0.06之间的小岛是一种在低温下可以与圆顶岛共存的稳定岛,两种岛的分布随淀积参数的变化而变化。在高温下小岛几乎消失,流量的变化对小岛的密度影响较小。实验中获得小岛的密度最高为2.6×10^10cm^-2,圆顶岛的密度最高为4.2×10^9cm^-2。
周志玉
周志文
李成
陈松岩
余金中
赖虹凯
关键词:
GE量子点
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