国家自然科学基金(50375149)
- 作品数：6 被引量：41H指数：5
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- 全息平面变间距光栅线密度分布方程系数研究
- 2006年
- 简述全息变间距光栅几何理论,通过分析其线距变化系数,研究了全息记录参数对线密度分布方程系数的约束,给出了使全息记录得到的线密度分布方程与期望方程相吻合的必要条件。同时还给出了遗传算法优化计算后的误差曲线,并对理论分析进行了验证,计算结果与理论分析相吻合。
- 楼俊刘正坤徐向东付绍军
- 关键词：全息线密度遗传算法
- 变栅距光栅光谱分辨研究被引量：9
- 2008年
- 基于夫琅禾费衍射理论,推导了平行光入射变栅距光栅后衍射光强的角度分布。计算了变栅距光栅参数相同,入射光斑宽度分别为5 mm和10 mm时,衍射光的分布特点和变栅距光栅参数不同,入射光斑宽度为10 mm时,衍射光的分布特点。实验验证了不同入射光斑宽度对光纤式变栅距光栅位移传感器分辨率的影响。结果表明:基于变栅距光栅的衍射特点,入射光斑直径的大小是影响传感器分辨率的一个重要因素。
- 刘正坤谭鑫徐向东洪义麟付绍军
- 关键词：分辨率夫琅禾费衍射
- 衍射光学元件制作中的基片涂胶方法被引量：9
- 2007年
- 在基片上涂布一层厚度均匀的光刻胶层,是衍射光学元件制作中的一个重要步骤。介绍了目前用于衍射光学元件制作的两种主要涂胶方法———提拉法和旋转法,分析了这两种方法的特点和影响胶层厚度的主要因素,尤其是对其均匀性的影响,并提出了获得均匀胶厚的途径。对于提拉涂胶,选择粘度较高的光刻胶溶液与合适的提拉速度将有助于减小Marangoni流动和Van derWaals力对膜厚均匀性的影响;对于旋转涂胶,可以通过密封基片所在空间,或者通过气流控制器使基片上方空气流动处于层流状态来获得均匀一致的溶剂挥发速率,从而提高胶层的均匀性。
- 邱克强徐向东洪义麟刘颖付绍军
- 关键词：衍射光学元件
- 用于位移传感器的全息平面变间距光栅设计与制作研究被引量：7
- 2006年
- 简述了全息变间距光栅的几何理论.利用遗传算法对记录光路进行了优化计算,提出在目标函数中考虑记录参数误差的影响,推导了目标函数的积分形式,提高了计算效率.针对用于位移传感器的平面变间距光栅,分别计算了球面波干涉及球面波与非球面波干涉情况下的全息记录参数,给出了线密度误差曲线.制作出全息平面变间距光栅,并成功应用于位移传感器中.
- 楼俊付绍军徐向东何世平
- 关键词：全息光栅遗传算法
- 超高强度激光脉冲压缩用衍射光栅被引量：8
- 2005年
- 衍射光栅是超高强度激光脉冲压缩器的核心元件之一,其高衍射效率、高损伤阈值和大尺寸的苛刻要求是普通商业光栅所远远不能满足的.文章对高强度激光超短脉冲压缩用衍射光栅的基本要求、主要类型、研究现状进行了综述.
- 徐向东洪义麟刘颖傅绍军
- 关键词：激光脉冲压缩衍射光栅脉冲压缩器衍射效率损伤阈值大尺寸
- 软X射线位相型金透射光栅的设计与制作被引量：8
- 2008年
- 根据衍射光栅的标量理论,计算并讨论了金透射光栅在软X波段衍射效率对光栅厚度和占宽比的依赖关系.结果表明,选择合适的光栅槽深和占宽比,高达21.9%的衍射效率可能被获得,远高于振幅型光栅的+1级衍射效率10.14%.通过全息光刻与电镀转移技术制作的位相型金透射光栅由300 nm的聚酰亚胺薄膜支撑,光栅槽深200 nm,占宽比为0.55,周期为1μm,面积为20 mm×5 mm.在国家同步辐射装置上,测得其+1级透射衍射效率在波长λ=7.425 nm时获得最大值,约为16%.
- 邱克强徐向东刘颖洪义麟付绍军
- 关键词：全息光刻电镀
