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北京市自然科学基金(4122080)

作品数:2 被引量:6H指数:1
相关作者:朱小宁黄永光刘德伟王宝军朱洪亮更多>>
相关机构:中国科学院更多>>
发文基金:北京市自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇探测器
  • 1篇准分子
  • 1篇准分子激光
  • 1篇激光
  • 1篇硅探测器
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光
  • 1篇分子
  • 1篇OPTICA...
  • 1篇SILICO...
  • 1篇SINGLE...
  • 1篇STRONG
  • 1篇MELTIN...
  • 1篇TELLUR...

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇王熙元
  • 1篇朱洪亮
  • 1篇王宝军
  • 1篇刘德伟
  • 1篇黄永光
  • 1篇朱小宁

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇中国激光

年份

  • 2篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
飞秒激光与准分子激光制作碲掺杂硅探测器被引量:6
2013年
采用飞秒激光扫描P型单晶硅衬底上的碲单质膜层,实现了碲元素在硅中的N型掺杂,随后利用准分子激光对掺杂样品进行退火处理,制备了碲掺杂硅单晶材料。利用该材料研制出了在室温下具有高响应的碲掺杂硅探测器。在-4V的反向偏压下,光电响应在1000nm处达到0.86A/W,外量子效率大于106.6%;随着反向偏压的增加,光电响应增加,同时截止波长向红外方向拓展,在-8V偏压下,截止波长达到了1235nm;在-16V偏压下,测得响应在1080nm处最高达到3.27A/W。
王熙元黄永光刘德伟朱小宁王宝军朱洪亮
关键词:探测器飞秒激光准分子激光硅探测器
Formation of single crystalline tellurium supersaturated silicon pn junctions by ion implantation followed by pulsed laser melting
2013年
Pn junctions based on single crystalline tellurium supersaturated silicon were formed by ion implantation followed by pulsed laser melting(PLM).P type silicon wafers were implanted with 245 keV ^126Te^+ to a dose of 2×10^15 ions/cm^2,after a PLM process(248 nm,laser fluence of 0.30 and 0.35 J/cm^2,1-5 pulses,duration 30 ns),an n^+ type single crystalline tellurium supersaturated silicon layer with high carrier density(highest concentration 4.10×10^19 cm^3,three orders of magnitude larger than the solid solution limit) was formed,it shows high broadband optical absorption from 400 to 2500 nm.Current-voltage measurements were performed on these diodes under dark and one standard sun(AM 1.5),and good rectification characteristics were observed.For present results,the samples with 4-5 pulses PLM are best.
王熙元黄永光刘德伟朱小宁崔晓朱洪亮
共1页<1>
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