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博士科研启动基金(XNBS0921)

作品数:1 被引量:6H指数:1
相关作者:张玉华霍庆松李爽付刚韩利新更多>>
相关机构:山东建筑大学更多>>
发文基金:山东省自然科学基金博士科研启动基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇溅射
  • 1篇表面形貌
  • 1篇衬底
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇山东建筑大学

作者

  • 1篇刘小村
  • 1篇张宁玉
  • 1篇韩利新
  • 1篇付刚
  • 1篇李爽
  • 1篇霍庆松
  • 1篇张玉华

传媒

  • 1篇山东建筑大学...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响被引量:6
2010年
在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜。利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响。研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的。
霍庆松张宁玉付刚李爽刘小村韩利新张玉华
关键词:ZNO薄膜磁控溅射原子力显微镜表面形貌
共1页<1>
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