2025年1月4日
星期六
|
欢迎来到海南省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
博士科研启动基金(XNBS0921)
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
相关作者:
张玉华
霍庆松
李爽
付刚
韩利新
更多>>
相关机构:
山东建筑大学
更多>>
发文基金:
山东省自然科学基金
博士科研启动基金
更多>>
相关领域:
理学
更多>>
相关作品
相关人物
相关机构
相关资助
相关领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1篇
中文期刊文章
领域
1篇
理学
主题
1篇
原子力显微镜
1篇
溅射
1篇
表面形貌
1篇
衬底
1篇
磁控
1篇
磁控溅射
1篇
ZNO薄膜
机构
1篇
山东建筑大学
作者
1篇
刘小村
1篇
张宁玉
1篇
韩利新
1篇
付刚
1篇
李爽
1篇
霍庆松
1篇
张玉华
传媒
1篇
山东建筑大学...
年份
1篇
2010
共
1
条 记 录,以下是 1-1
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响
被引量:6
2010年
在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜。利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响。研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的。
霍庆松
张宁玉
付刚
李爽
刘小村
韩利新
张玉华
关键词:
ZNO薄膜
磁控溅射
原子力显微镜
表面形貌
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张