国家自然科学基金(50675142)
- 作品数：6 被引量：17H指数：3
- 相关作者：黄树涛周丽许立福焦可如焦可茹更多>>
- 相关机构：沈阳理工大学长春理工大学东北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金辽宁省科技攻关计划项目更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- CVD金刚石膜抛光技术综述被引量：4
- 2011年
- 针对近年来国内外的化学气相沉积(CVD)金刚石膜的抛光方法(机械抛光、热化学抛光、化学辅助机械抛光、电蚀抛光和高能抛光等)的原理、优缺点进行了分析论述,指出了今后金刚石膜抛光研究中亟待解决的问题,并展望了CVD金刚石膜抛光技术的发展趋势。
- 焦可如黄树涛周丽许立福
- 关键词：化学气相沉积金刚石膜抛光技术表面粗糙度
- 一种超高速金刚石膜抛光机虚拟样机及其动力学仿真分析
- 2010年
- 基于金刚石膜的超高速抛光原理,设计了结构简单、节约能源、成本低的新型金刚石膜抛光机,用Solidworks软件完成了该抛光机的三维实体建模,并将该三维实体模型导入动力学分析软件ADAMS中,建立该抛光机的虚拟样机模型。仿真结果表明,工件跳动量的大小将直接影响工件的抛光质量及抛光的稳定性。利用虚拟样机模型分析了抛光盘转速、偏心量及不平整度对工件跳动量的动力学影响。该仿真结果为抛光机的加工及装配精度提供重要依据。
- 李艳杰黄树涛田业朋
- 关键词：虚拟样机金刚石膜动力学
- 金刚石膜抛光装置的有限元分析
- 2009年
- 本文建立了金刚石膜抛光装置的实体模型,采用接触分析法计算抛光装置高速旋转时,抛光盘厚度和转速对抛光装置的强度、刚度的影响规律。结果表明:随着金刚石膜抛光盘厚度的增加,同一转速下,vonMises等效应力与径向位移的变化很小,而轴向位移在抛光盘厚度较小时呈直线上升趋势,当抛光盘厚度大于等于8mm时,轴向位移的变化逐渐趋于平稳。同时,对于同一厚度的金刚石膜抛光装置,随着转速的提高,vonMises等效应力和径向位移呈现相似的上升趋势,轴向位移却先上升后下降。文中得出的结论为金刚石膜超高速抛光机的设计和实际操作,提供了可靠的理论依据。
- 黄树涛周丽许立福
- 关键词：金刚石膜抛光装置有限元法
- 金刚石膜超高速抛光的模态分析被引量：1
- 2010年
- 本文建立了金刚石膜抛光装置的实体模型,运用大型有限元分析软件ANSYS分别对抛光盘在三种不同工况下的振动特性进行分析,得出了相应的固有频率及振型。结果表明:金刚石膜抛光盘由低阶到高阶的振型是遵循一定的规律变化,边界条件对抛光盘模态参数有一定的影响。工作模态与约束模态二者的模态参数基本相同,相对振幅大的区域出现在抛光盘盘体上,且高阶固有频率对金刚石膜抛光盘的振动影响较大。该结论为金刚石膜超高速抛光机的性能评价和实际操作提供了可靠的理论依据。
- 张春阳周丽黄树涛闵希春
- 关键词：模态分析固有频率振型
- CVD金刚石膜的热化学抛光技术被引量：6
- 2009年
- 金刚石膜的抛光技术目前已成为影响金刚石膜推广应用的关键技术之一。近年来开发的各种金刚石膜抛光技术都有其各自的优缺点和局限性。基于碳原子扩散的金刚石膜热化学抛光技术因抛光质量好、效率较高、机械损伤小等优点,而具有发展前景。但目前开发的将抛光盘整体加热至高温的热化学抛光方法,存在设备运行复杂、抛光加工成本高等问题。本文综合论述了金刚石膜热化学抛光技术的发展、特点及不同因素对金刚石膜热化学抛光的影响,在此基础上提出了一种稀土金属辅助作用下的金刚石膜超高速抛光新方法。运用扩散理论分析了抛光温度对金刚石膜理论去除率的影响,所得结果与实验较符合。本文提出的超高速抛光方法具有设备简单、可用于金刚石膜的精密抛光等优点。
- 黄树涛周丽焦可茹许立福
- 关键词：金刚石膜扩散
- 金刚石膜超高速抛光温度场的有限元模拟被引量：6
- 2009年
- 金刚石膜超高速抛光是一种新的抛光方法,抛光区域温度场分布直接影响金刚石膜的抛光质量。本文采用三维热-力耦合有限元法分析了抛光盘超高速旋转时,不同直径的金刚石厚膜与抛光盘之间由于摩擦生热形成的温度场。结果表明:随着金刚石膜直径的增大,其内、外边缘温度差明显增大。只有当金刚石膜与抛光盘作同向相对运动时,金刚石膜的内、外边缘温度才趋于均匀。文中得出的结论可以为金刚石膜超高速抛光机的设计和实际操作提供可靠的理论依据。
- 周丽黄树涛许立福焦可如
- 关键词：金刚石膜抛光温度场
