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国家自然科学基金(60376004)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：王勇曾兆权薛其坤杜小龙孔祥和更多>>
相关机构：曲阜师范大学中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇蓝宝石衬底
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇GA
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇曲阜师范大学

作者

  • 1篇张泽
  • 1篇梅增霞
  • 1篇贾金锋
  • 1篇孔祥和
  • 1篇杜小龙
  • 1篇薛其坤
  • 1篇曾兆权
  • 1篇王勇

传媒

  • 1篇中国科学（G...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
蓝宝石(0001)衬底上Ga浸润层对ZnO外延薄膜质量的影响被引量：1
2004年
利用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE), 通过在蓝宝石(0001)衬底上预先沉积金属Ga薄层的方法生长出了高质量的ZnO单晶薄膜. 这个Ga薄层的引入完全抑制了导致ZnO薄膜质量下降的旋转畴和倒反畴的形成. 反射式高能电子衍射(RHEED)原位观察以及高分辨X射线衍射(HRXRD)、透射式电子显微(TEM)和会聚束电子衍射(CBED)测试表明, 该薄膜具有很高的晶体质量和单一Zn极性. 详细讨论了Ga浸润层在ZnO的极性选择以及缺陷密度的减少等方面所起的作用, 并通过一个双层Ga原子模型分析了单一极性生长的机理.
曾兆权王勇杜小龙梅增霞孔祥和贾金锋薛其坤张泽
关键词：半导体材料蓝宝石衬底氧化锌薄膜
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