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安徽省自然科学基金(070412034)

作品数：1 被引量：3H指数：1
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相关机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇应力
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积
  • 1篇脉冲激光沉积...
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇刚石
  • 1篇CVD金刚石...
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇余庆选
  • 1篇廖源
  • 1篇傅竹西
  • 1篇张吉明
  • 1篇张五堂

传媒

  • 1篇量子电子学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PLD方法在CVD金刚石膜上生长ZnO薄膜及其特性研究被引量：3
2008年
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在(110)和(100)织构金刚石膜上成功制备出高度c-轴取向的ZnO薄膜,然后在纯氮气氛条件下对ZnO薄膜进行退火处理.作为比较。也在(100)Si上生长的ZnO薄膜进行了相同的处理.通过测量X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱,研究了不同衬底性质和退火对薄膜结构和发光特性的影响.实验结果表明,在(100)织构金刚石上的ZnO膜具有最好的结晶质量,其半高宽只有0.2°.退火之后近紫外发光峰明显减弱的同时,绿色发光峰得到增强.这里归结为氮气退火后氧空位的增加,这点从退火后的XPS谱中可以得到进一步的确认.
张吉明廖源张五堂余庆选傅竹西
关键词：氧化锌薄膜脉冲激光沉积法金刚石应力
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