博士科研启动基金(A-0501-11-012)
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 相关作者：宋芳郝双晖郝明晖王家畴更多>>
- 相关机构：上海工程技术大学哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
- 发文基金：博士科研启动基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 基于切割成型的侧壁表面压阻制作及其参数优化
- 2013年
- 为了提高MEMS执行器件对面内运动位移(或力学信号)检测的灵敏度并改善侧壁检测电阻制作工艺与其他工艺及其不同器件结构之间的兼容性问题,提出一种基于离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻的方法。在此基础上,详细分析了影响位移检测灵敏度和分辨率的各种因素,并对侧壁压阻的结构尺寸及其工艺参数进行优化。最后,给出了侧壁表面压阻在几种不同类型典型MEMS执行器件中的应用,取得了很好的应用效果。
- 宋芳王家畴
- 关键词：MEMS参数优化
- 基于移动平均位置不变性推论的NURBS曲线插补算法研究
- 2013年
- 为解决采用滤波技术对NURBS曲线进行插补时导致的滤波后连接点和极值点的速度发生改变这一不足,基于移动平均技术,提出移动平均的位置不变性推论。该方法具有可扩展性,可实现加速度、加加速度及位移对时间更高阶指令的连续性,有效地减小了机床振动。最后对所设计的算法进行了实例验证,验证结果表明了所提出算法的有效性及可行性。
- 宋芳郝双晖郝明晖
- 关键词：NURBS曲线曲线插补
- 同周期多轴控制系统研究
- 2013年
- 由于当前数控系统插补周期与伺服系统控制周期不同,将会导致伺服系统指令响应产生较大振动及有可能产生轮廓误差影响加工精度等不足,基于已研究的移动平均加减速控制算法基础上,提出同周期多轴控制系统,即数控系统插补周期与伺服系统控制周期相同,给出了同周期控制系统实现的软、硬件设计方法,最后通过实验验证了所设计系统的有效性,能够很好地实现指令跟踪,满足同周期控制设计要求。
- 宋芳郝双晖郝明晖
- 关键词：多轴控制预处理模块化
