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山东省自然科学基金(03B53)

作品数：2 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇核科学技术

主题

  • 2篇电子束
  • 1篇电子轨迹
  • 1篇电子枪
  • 1篇电子束加速器
  • 1篇英文
  • 1篇散射
  • 1篇加速器
  • 1篇LAB
  • 1篇KRAMER...
  • 1篇HEISEN...

机构

  • 2篇山东大学
  • 1篇山东科技大学

作者

  • 2篇尹明
  • 1篇周晓雁
  • 1篇逄明祥

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇高能物理与核...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电子束加速器维纳尔的研究(英文)
2005年
由于电子束理论上可聚成直径小于 1nm的束斑 ,易于控制 ,在超大规模集成电路掩模制造中起的重要作用 ,目前仍无法用其他方法所代替 .以SDS 3电子束设备的电子枪为基础 ,讨论了双曲凹面加速器维纳尔 (外敷碱土金属氧化物盖 )的电子轨迹与能量分布 .通过这一维纳尔电子被送达硅片靶心 (置于光阑前 ) .最后给出了刻蚀硅片的束斑和加速器维纳尔的图 .
尹明周晓雁
关键词：电子束电子轨迹加速器
LaB_6电子枪的Kramers-Heisenberg散射与Fermi分布
2007年
分析了LaB6电子枪的Kramers-Heisenberg散射与电子束能量分布。以SDS-3电子束设备的电子枪为基础,加速电压为30 kV,通过双曲凹面加速器维纳尔(外敷碱土金属氧化物盖)使电子送达Si片靶心(置于光栏前),讨论了维纳尔的电子轨迹与电子枪发射电子的Fermi分布,给出了测量LaB6电子枪分辨率的方法。与考虑了系统像差影响的理论计算结果进行比较,两者的最后结果基本一致。
尹明逄明祥
关键词：电子束散射
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