国家高技术研究发展计划(2006AA04Z326)
- 作品数:2 被引量:8H指数:2
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- 相关机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程理学一般工业技术更多>>
- 通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关被引量:5
- 2009年
- 基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进行模态分析,考察了器件的横向抗干扰能力;并提取了器件的物理参数(如弹簧弹性系数和系统有效质量),以用于Simulink动态仿真。通过动态仿真验证了器件的工作原理,并与传统微冲击开关进行了比较。使用落锤试验对所制造出的微冲击开关进行测试,加载脉宽1ms的半正弦冲击加速度,测得其阈值约为145g,并且接触时间可稳定在50μs以上。测试结果与仿真符合较好,证明了新型设计可以有效地增强接触效果,所建模型可以较准确地描述器件的动态响应。
- 蔡豪刚丁桂甫杨卓青周镇威汪红
- 关键词:微机电系统
- 用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析被引量:3
- 2008年
- 设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS(micro-electro-mechanical system)惯性开关,应用ANSYS10.0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析,得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线,并比较静动载荷下结构参数对微弹簧水平和垂直方向上弹性常数(klevel和kvertic)的影响规律。文中的有限元动力学分析方法为较准确地评定类似MEMS微弹簧弹性常数提供一条有效途径,具有工程实际应用价值,特别是为动载荷下工作的惯性类微器件中弹簧的进一步优化与加工提供重要依据。
- 杨卓青丁桂甫蔡豪刚付世赵小林
- 关键词:惯性开关有限元动力学