广西壮族自治区自然科学基金(2010GXNSFA013122)
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 相关作者：蒋爱华肖剑荣杨端翠邵红娟更多>>
- 相关机构：桂林理工大学桂林电子科技大学中南大学更多>>
- 发文基金：广西壮族自治区自然科学基金中南大学博士后科学基金广西信息材料重点实验室主任基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 射频功率对F-DLC薄膜结构及场发射性能的影响被引量：2
- 2014年
- 采用射频等离子体化学增强型气相沉积法,以CF4和CH4为源气体,氩气为载气,在不同射频功率下制备了掺氟类金刚石(F-DLC)薄膜样品。用原子力显微镜观测了样品的表面形貌,用X射线光电能谱仪及拉曼光谱仪等表征方法对样品的键合结构进行了测试、分析。结果显示:薄膜表面致密均匀,射频功率增加,薄膜表面均方根粗糙度增大,膜内sp2杂化结构相对含量增加。样品的场发射性能测试显示:高射频功率下制备的F-DLC薄膜样品的场发射阈值低,场发射电流密度升高。其主要原因是:随着射频功率的增加,薄膜的表面粗糙度增大及薄膜的石墨化程度增加引起。
- 蒋爱华邵红娟杨端翠肖剑荣
- 关键词：射频功率表面形貌场发射性能
- 氟化非晶碳膜结构的Raman和FTIR研究被引量：2
- 2010年
- 利用反应射频磁控溅射法,以单晶Si片为衬底,在不同功率下制备了氟化非晶碳膜样品,并进行了不同温度的退火处理。采用拉曼光谱、傅里叶变换红外光谱和原子力显微镜对样品的结构进行了表征。通过谱线Lorentzian分峰拟合方法,分析比较了不同功率下制备的氟化非晶碳膜sp杂化结构,得到了薄膜生长过程功率控制与结构的关系,功率增大、退火温度升高,膜内sp2相对含量增加。退火温度达到350℃时,薄膜中石墨结构明显增加。
- 肖剑荣蒋爱华
- 关键词：拉曼光谱溅射功率退火
