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模拟集成电路国家重点实验室开放基金(9140C0903010604)
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成建兵
李肇基
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全耗尽型浮空埋层LDMOS的耐压特性
2008年
提出了一种新的全耗尽型浮空埋层LDMOS(FB-LDMOS)结构.全耗尽n型埋层在器件的体内产生新的电场,该电场调制了漂移区电场,使得在降低漂移区漏端电场的同时提高了源侧和中部电场REBULF效应.分析了埋层的浓度、厚度、长度等对器件击穿电压的影响.借助二维仿真软件MEDICI,该新结构的击穿电压由传统LDMOS的585.8V提高到886.9V,提高了51.4%.
成建兵
张波
李肇基
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LDMOS
RESURF
击穿电压
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