表面工程技术国家级重点实验室基金(51418060305HT6007)
- 作品数：7 被引量：67H指数：4
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- 相关机构：中国科学院兰州物理研究所兰州空间技术物理研究所更多>>
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- 宽截止长波红外带通滤光片的研制
- 针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm～12.50μm和10.6μm～11.2μm两类宽截止长波红外带通...
- 叶自煜王多书张佰森陈焘马锋盖志刚
- 关键词：滤光片长波红外光学系统
- 文献传递
- 宽截止长波红外带通滤光片的研制被引量：8
- 2009年
- 针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm～12.50μm和10.6μm～11.2μm两类宽截止长波红外带通滤光片为研究对象,论述了宽截止长波红外带通滤光片的设计原则和方法,采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺成功镀制了空间用宽截止长波红外带通滤光片。指出等离子体辅助沉积工艺更有利于改善长波红外滤光片膜层的显微结构和残余应力消除。
- 叶自煜王多书张佰森陈焘马锋盖志刚
- 关键词：滤光片长波红外光学系统
- 离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响被引量：8
- 2009年
- 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助工艺时硫化锌薄膜的压应力增加了62.3MPa。真空退火使硫化锌薄膜的平均应力大约降低了二分之一。硫化锌薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素。
- 陈焘罗崇泰王多书刘宏开王济洲马锋
- 关键词：硫化锌薄膜离子束辅助沉积真空退火应力
- 离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响
- 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用...
- 陈焘罗崇泰王多书刘宏开王济洲马锋
- 关键词：硫化锌薄膜离子束辅助沉积真空退火应力
- 文献传递
- 薄膜应力的研究进展被引量：38
- 2006年
- 薄膜应力对薄膜性能具有重要的影响。主要介绍了薄膜应力形成机理和应力实验的研究进展,并探讨了薄膜应力研究的发展趋势。通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改变薄膜的应力分布,提高薄膜的性能。
- 陈焘罗崇泰
- 关键词：应力光学薄膜
- 用于激光直写灰度掩模的二元金属薄膜的制备及光学性质被引量：2
- 2009年
- 利用磁控溅射方法制备了Zn/Al二元金属薄膜,得出了制备Zn/Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。
- 马锋王多书罗崇泰叶自煜刘宏开王济州
- 关键词：磁控溅射激光直写灰度掩模
- 吸收膜层的光电极值法监控研究被引量：1
- 2007年
- 膜层厚度的精确控制是提高光学薄膜性能的关键技术。利用膜系的特征矩阵分析了吸收膜层消光系数对监控的影响,并给出了实例分析。给出了确定吸收膜层监控波长和监控次数的方法。最后通过镀制实验,表明考虑膜层消光系数的影响后,即使采用有较大吸收的监控光进行监控,所镀膜层也有较高的监控精度。实测膜系光谱性能良好。
- 金扬利马勉军陈焘刘宏开
- 关键词：光学薄膜消光系数
- 离子束轰击对电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力的影响被引量：11
- 2009年
- 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了二氧化钛薄膜。通过XRD、AFM和薄膜应力测试仪研究了离子束轰击对薄膜应力的影响规律。结果表明沉积温度为323K、沉积速率为0.2nm.s-1时,二氧化钛薄膜具有较小的应力值,平均应力为48.2MPa。用能量为113eV的离子束轰击300s时,平均应力由72.9MPa的张应力变为16.7MPa的压应力。二氧化钛薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素。
- 陈焘罗崇泰王多书刘宏开
- 关键词：二氧化钛压应力
- 对衍射光学元件温度特性的研究被引量：1
- 2008年
- 大多数空间光学仪器的工作环境温度变化范围都较大。对折射元件和衍射元件的温度特性进行了分析,建立了透镜焦距和衍射效率随环境温度的变化关系,并论述了利用衍射光学元件的温度特性实现光学系统消热差的原理和设计方法。
- 马锋王多书罗崇泰陈焘叶自煜刘宏开王济州
- 关键词：衍射光学红外光学系统
