2024年12月24日
星期二
|
欢迎来到海南省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
天津市高等学校科技发展基金计划项目(20030521)
作品数:
2
被引量:5
H指数:2
相关作者:
陈希明
于春花
李化鹏
徐晟
杨保和
更多>>
相关机构:
天津理工大学
更多>>
发文基金:
天津市自然科学基金
天津市高等学校科技发展基金计划项目
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
电子电信
更多>>
相关作品
相关人物
相关机构
相关资助
相关领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
2篇
中文期刊文章
领域
2篇
电子电信
主题
1篇
多层膜
1篇
多层膜结构
1篇
射频磁控
1篇
射频磁控反应...
1篇
射频功率
1篇
声表面波
1篇
声表面波器件
1篇
金刚石
1篇
金刚石薄膜
1篇
溅射
1篇
反应溅射
1篇
刚石
1篇
ALN薄膜
1篇
磁控
1篇
磁控反应溅射
机构
2篇
天津理工大学
作者
2篇
陈希明
1篇
李化鹏
1篇
杨晓苹
1篇
杨保和
1篇
徐晟
1篇
于春花
传媒
2篇
天津理工大学...
年份
1篇
2007
1篇
2006
共
2
条 记 录,以下是 1-2
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
金刚石声表面波器件的研制
被引量:2
2006年
对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光S i基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,叉指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4 GHz.
徐晟
陈希明
杨晓苹
杨保和
关键词:
声表面波
多层膜结构
金刚石薄膜
射频功率对射频磁控反应溅射制备AlN薄膜的影响
被引量:3
2007年
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了AlN薄膜,通过控制工艺参数可以沉积出不同择优取向的AlN薄膜,各工艺参数中射频功率对其择优取向的影响最大.XRD表征了AlN薄膜的结构,进而选择出最优射频功率.
于春花
陈希明
李化鹏
关键词:
ALN薄膜
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张