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国家自然科学基金(6024003)
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陈章红
印志强
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赵兴中
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陈章红
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2006
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Co掺杂对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜介电性能的影响
2006年
利用溶胶凝胶工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了Co掺杂量为0~10%(摩尔分数)的(Ba0.6Sr0.4)Ti1-xCoxO3薄膜。研究了薄膜的结构、表面形貌、介电性能与Co掺杂量的关系。薄膜的介电损耗随着Co含量的增加而减少,在摩尔含量10%时达到最小值0.0128。FOM值在摩尔含量为2.59,6达到最大值20,它的介电常数、介电损耗和调谐量分别为639.42、0.0218、43.6%。
印志强
孙小华
陈章红
李美亚
赵兴中
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溶胶-凝胶
介电特性
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