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MeV He^+离子注入氧化锌晶体光波导特性研究被引量：4: 2009年; 用能量为2.0 MeV剂量为2×10^(16) ion/cm^2 He^+离子室温下注入到z切的氧化锌晶体中形成光波导。退火前后用棱镜耦合法在633 nm激光波长下测量波导的暗模特性,发现在空气中经过适当退火后暗模消失,说明晶格损伤减少,进一步的退火处理有可能使晶格损伤完全恢复。用TRIM’2003程序模拟了2.0 MeV He+离子注入到氧化锌晶体的过程,得到氧化锌损伤分布与穿透深度的关系曲线,并利用反射计算法重构了离子注入波导的折射率分布,发现在波导区折射率增加,在离子射程的末端有一个折射率降低的光学位垒,结果还显示折射率分布曲线与损伤分布曲线非常相似,这充分说明核碰撞所造成的晶格损伤是形成光波导的主要原因。; 明宪兵卢霏刘汉平王磊侯东超刘祥志张瑞锋; 关键词：导波光学折射率分布离子注入氧化锌

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国家自然科学基金(10575067)