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贵州大学自然科学青年科研基金([2009]-017)
作品数:
1
被引量:9
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相关作者:
张锗源
杨法明
邓朝勇
张荣芬
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杨法明
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张锗源
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年份
1篇
2011
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功率VDMOS器件的研究与发展
被引量:9
2011年
简要介绍了垂直双扩散功率场效应晶体管(VDMOS)的研究现状和发展历史。针对功率VDMOS器件击穿电压和导通电阻之间存在的矛盾,重点介绍了几种新型器件结构(包括沟槽栅VDMOS、超结VDMOS、半超结VDMOS)的工作原理和结构特点,以及其在制造工艺中存在的问题。对不同器件结构的优缺点进行了比较分析。对一些新型衍生结构(包括侧面多晶硅栅VDMOS、边氧沟道VDMOS和浮岛VDMOS)的特点进行了分析,叙述了新型SiC材料在VD-MOS器件中应用的最新进展,并指出了存在的问题和未来发展趋势。
杨法明
杨发顺
张锗源
李绪诚
张荣芬
邓朝勇
关键词:
击穿电压
导通电阻
SIC材料
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