山东省科技计划项目(2009GG20003028)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 相关作者：王勇杰魏显起张仲更多>>
- 相关机构：济南大学更多>>
- 发文基金：山东省科技计划项目山东省自然科学基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 退火对用PLD法制备ZnO薄膜的发光影响被引量：4
- 2011年
- 用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(111)和蓝宝石衬底上制备的氧化锌薄膜,在不同的退火温度和不同的退火氛围中进行了退火处理.退火温度及退火氛围对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响用X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱进行了表征.实验结果表明,随着退火温度的提高,ZnO薄膜的压应力减小,并向张应力转化.在不同的退火温度退火的薄膜的光致发光谱表明,随着退火温度的提高,薄膜的紫外发射逐渐增强,缺陷发射逐渐减小.在不同退火条件下的退火实验表明,在蓝宝石衬底上、氧气氛围中退火的薄膜,在700℃时呈现无应力,紫外发射强度对可见发射强度的比例最大.
- 魏显起王勇杰张仲
- 关键词：PLDZNO薄膜应力晶体结构光致发光谱
