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博士科研启动基金(A2005-50)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
张毅
罗元
徐晓东
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相关机构:
重庆邮电大学
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年份
1篇
2006
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基于分形理论的MEMS光开关微镜分析与模拟
被引量:2
2006年
微镜是微电子机械系统(MEMS)光开关的关键结构,镜表面粗糙度对微镜反射率、插入损耗等特性影响重大。给出了用扫描隧道显微镜测量的一组微镜的表面形貌,进而将分形理论应用在微镜表面的分析上,同时一种三维的Weierstrass-Mandelbrot(W-M)函数被用以模拟各种不同的表面形貌。结果对比表明,这种W-M函数可用于微镜表面的建模和形貌分析。
张毅
罗元
徐晓东
关键词:
分形
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