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国家高技术研究发展计划(2008AA042401)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：黄景志谭久彬谷伟更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇谷伟
  • 1篇谭久彬
  • 1篇黄景志

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光学圆柱几何形状的精确测量和误差消除被引量：1
2009年
为提高圆柱形光学元件形状测量精确度,对采用圆柱度测量仪测量光学圆柱时存在的3种定位误差进行了分析。针对偏置误差,提出一种包含有传感器测头偏移误差和试件偏心误差的双偏置参数圆轮廓测量模型以及基于参数优化的偏置误差分离方法,可避免现有单参数测量模型的原理缺陷,实现对偏置参量的精确估计与直接求解;针对基准间平行定位误差,提出了"倒置法"误差分离方法,以实现对基准间平行定位误差的精确分离和补偿;针对气浮导轨轴向定位误差,提出了基于液体阻尼的气浮导轨轴向定位误差抑制方法。仿真和实验验证了上述方法的有效性。
黄景志谭久彬谷伟
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