沈阳市人才资源开发专项资金(2007140103007)
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 相关作者：陆峰徐成海更多>>
- 相关机构：东北大学沈阳建筑大学更多>>
- 发文基金：沈阳市人才资源开发专项资金建设部科学技术计划项目更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- 氧、氩分压对直流反应溅射制备ZAO薄膜的性能影响
- 采用直流反应磁控溅射技术,制备获得ZAO薄膜,研究氧分压、氩分压关键制备工艺参数对ZAO薄膜的组织结构、光、电性能的影响,并获得了最佳的氧、氩分压制备参数,利用该参数制备ZAO薄膜,能够获得在可见光范围内的平均透射率>8...
- 陆峰徐成海闻立时吴玉厚
- 关键词：ZAO薄膜氧分压
- 文献传递
- 溅射功率和靶基距对ZAO薄膜性能影响
- 2011年
- 采用直流反应磁控溅射技术,制备获得ZnO:Al(ZAO)薄膜,研究溅射功率、靶基距关键制备工艺参数对ZAO薄膜的组织结构、光、电性能的影响,并获得了最佳的溅射功率、靶基距制备参数,利用该参数制备ZAO薄膜,能够获得在可见光范围内的平均透射率》80%,最低电阻率为4.5×10^(-4)Ω·cm的ZAO薄膜,其光电性能均满足应用需求。
- 陆峰徐成海
- 关键词：ZAO薄膜溅射功率
