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国家自然科学基金(61076048)

作品数:3 被引量:9H指数:2
相关作者:郭霞陈树华周弘毅郭帅武华更多>>
相关机构:北京工业大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇等离子体
  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇退火
  • 1篇热退火
  • 1篇界面态
  • 1篇刻蚀
  • 1篇硅片
  • 1篇硅片表面
  • 1篇感应耦合
  • 1篇感应耦合等离...
  • 1篇感应耦合等离...
  • 1篇SI
  • 1篇AR
  • 1篇CL
  • 1篇CL2/AR
  • 1篇表面等离子体
  • 1篇尺寸
  • 1篇粗糙度
  • 1篇V

机构

  • 3篇北京工业大学

作者

  • 3篇郭霞
  • 2篇郭帅
  • 2篇周弘毅
  • 2篇陈树华
  • 1篇郝聪霞
  • 1篇崔文凯
  • 1篇李硕
  • 1篇马云飞
  • 1篇苏治平
  • 1篇关宝璐
  • 1篇武华

传媒

  • 2篇电子科技
  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
3 条 记 录,以下是 1-3
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