天津市高等学校科技发展基金计划项目(20050519)
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
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- 基于X射线sin^2φ法的择优取向金刚石膜残余应力分析被引量：1
- 2010年
- X射线sin2φ法是薄膜残余应力分析中比较理想的测量手段,但择优取向的存在导致薄膜各向异性,从而会影响测试曲线2～sin2φ的线性关系,表现为曲线的震荡现象。本文利用化学气相沉积(CVD)技术制备(110)择优取向金刚石膜样品,采用X射线sin2φ法对样品残余应力进行测试,通过合理选择衍射晶面和φ角避免择优取向对测量结果的影响,使测试曲线保持良好的线性。然后基于双金属和薄片弯曲理论模型对膜内热应力进行计算,进而得出样品内本征应力状态和大小。结果表明:金刚石薄膜内热应力总为压应力,择优取向使得晶粒排布的有序程度大大提高,本征应力主要来源于杂质的压应力,二者综合作用使得总残余应力表现为受压;随薄膜厚度增加,总应力绝对值变大,其中热压应力绝对值变小甚微,本征压应力绝对值增加显著。
- 李晓伟常明
- 关键词：金刚石膜残余应力
- 织构CVD金刚石附着膜残余应力分析被引量：5
- 2009年
- 利用微波等离子体化学气相沉积(CVD)方法,在(100)P型Si衬底上沉积得到{110}织构金刚石膜样品,并对其作退火处理。拉曼光谱和高角度X射线衍射(XRD)线型测试结果表明:{110}织构金刚石膜由于晶粒排布的有序程度提高,本征张应力较小,样品内残余应力与其热应力状态一样,均表现为压应力,且随膜的增厚,残余压应力绝对值变大,呈现随厚度的梯度分布;400℃退火3h后,膜内残余应力状态发生改变,说明退火处理可以有效调整膜内残余应力。
- 李晓伟李翠平杨保和
- 关键词：残余应力织构拉曼光谱
- 金刚石/硅复合膜的导热特性研究被引量：6
- 2007年
- 用金刚石粉,用不同时间在两片镜面抛光的(111)硅基片上分别打磨。两片硅基片打磨后都仍保持镜面特征。采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷和氧气为前驱气体,在同样参数条件下,在基片上制备了直径5cm的金刚石薄膜。用扫描电镜和X射线衍射分析两片薄膜结构。分析结果表明其表面形貌基本相同都为(111)择优取向的金刚石薄膜;但X射线衍射分析表明打磨时间较长的薄膜中含有一定量在非晶成分。用热导测试仪测试两薄膜和硅基片的热导率约为:241.7W/mK,192.9W/mK和169.3W/mK。结合扫描电镜和X射线衍射分析结果我们讨论了基底处理对金刚石/硅复合膜的导热特性的影响。
- 吴小国熊瑛杨保和李翠平孙大智李晓伟
- 关键词：金刚石热导率
