公共文化服务平台

共 1 条记录，以下是 1-1

全选清除导出

排序方式：

用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪被引量：8: 2011年; 研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。; 李立艳王坚韩春阳苑勇贵吴冰杨军苑立波; 关键词：激光干涉仪

全选清除导出

共1页<1>

黑龙江省自然科学基金(2D200810)