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吉林省科技发展计划基金(20080331-1)
吉林省科技发展计划基金(20080331-1)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
孙岩
石澎
姚林
付秀华
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相关机构:
长春理工大学
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相关领域:
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2012
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红外探测器滤光膜的研究与制备
被引量:3
2012年
为满足红外探测器在1.064μm和3~5μm双波段透射,在1.2~2.8μm波段反射,可适应复杂的环境条件、具有高稳定性和可靠性等要求,依据薄膜的设计理论,选择合理的膜系设计方法,借助TFC膜系设计软件对膜系结构进行优化设计。并采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术,在蓝宝石晶体基底上镀制红外多波段滤光膜。同时对所使用的薄膜材料的光学、物理、化学和机械特性进行分析与研究。通过反复试验,优化工艺参数,使多波段滤光膜得以实现。对所制得的薄膜进行测试,基本满足红外探测器的使用要求。
孙岩
付秀华
石澎
姚林
关键词:
光学薄膜
红外增透膜
离子辅助沉积
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