中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCXI-Y-8)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- 相关机构：中国科学院山东理工大学中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于VC++6.0的电子束曝光控制系统
- 2009年
- 随着纳米科技的迅速发展,下一代光刻技术在微细加工领域发挥着日益重要的作用。作为复杂半导体加工主要手段之一的电子束曝光系统,需要稳定完善的控制软件来保证其正常运行。本文介绍了电子束曝光控制系统的设计原理,并着重介绍了其对电子束曝光的全过程进行控制的强大功能。
- 宋志魏淑华薛虹韩立
- 关键词：电子束曝光控制系统绘制图形
- 电子束曝光数据格式的改进设计与实现被引量：2
- 2006年
- 根据中国科学院电工研究所研制的DY-2000型实用化电子束曝光系统对曝光图形数据格式的要求及用户的需要,对原曝光文件格式(EDF)进行了改进,利用VC++6.0开发环境实现了EDF格式文件的图形创建、结构体引用以及文件保存,同时增加了多层图形套刻和邻近效应修正数据处理的功能。实验结果表明,改进后的电子束曝光图形文件格式可满足用户的需求,便于用户新建版图文件,同时也提高了文件传输速度及曝光的效率。
- 魏淑华刘伟李晓娜张今朝韩立
- 关键词：电子束曝光图形发生器图形文件格式套刻
- VC＋＋实现电子束曝光专用数据格式文件
- 2008年
- 电子束曝光数据格式是针对电子束曝光系统设计的、可被曝光机直接识别的一种专用电子束曝光图形数据格式。利用VC++开发环境实现了该格式文件的创建,主要包括曝光版图的图形绘制、属性设置、结构体引用以及文件保存。实验结果表明,利用此软件可创建满足各种需求的曝光版图文件,从而便于进行电子束曝光的相关实验。
- 魏淑华刘伟张今朝韩立
- 关键词：图形文件格式VC++图形绘制电子束曝光
