国家教育部博士点基金(20070056072)
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 相关作者：傅星郭彤胡小唐陈津平袁方更多>>
- 相关机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价被引量：3
- 2008年
- 利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感器,通过将AFM的悬臂梁反馈控制信号引入到NMM的数字信号控制器中,NMM实现在z方向的辅助测量,这种测量模式减小了AFM的PZT扫描器固有特性对测量的影响。根据ISO 5436—1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的标准偏差为0.52 nm。
- 郭彤陈津平傅星T. HausotteG. Jager胡小唐
- 关键词：计量学纳米测量机原子力显微镜
- MEMS显微干涉测量系统中相位提取算法的选择与分析被引量：1
- 2008年
- 描述了一种基于相移显微干涉术的MEMS测试方法,达到了纳米级分辨力.从理论上分析了4种常用相移算法对测量过程主要噪声(相移器的移相误差和探测器的非线性响应误差)的抑制作用,并选定了适合本系统的Hariharan算法.通过对经过美国国家标准研究院(NIST)认证的一个台阶高度的测量,验证了各种算法的测量精度,说明Hariharan算法对噪声有更强的抑制作用,其测量重复性在亚纳米量级.
- 郭彤陈津平傅星胡小唐
- 关键词：微机电系统误差分析
- 基于白光干涉无重叠拼接的微结构表征方法被引量：8
- 2010年
- 针对白光干涉技术(WLI)应用于大范围测量时图像重叠拼接会引入误差并降低测量效率这一缺欠,本文基于纳米测量机(NMM)提出了一种无重叠拼接的白光干涉测试方法。利用NMM的高精度定位能力,扩展了普通白光干涉仪的测量范围,实现了对微结构近4倍于CCD视场的大范围测量,验证了无重叠图像拼接的可实现性。
- 郭彤袁方高顺民马龙傅星胡小唐
- 关键词：微结构纳米测量机
