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国家重点基础研究发展计划(2010CB334700)
作品数:
1
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相关作者:
康昊
杨明亮
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2014
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基于低温共烧陶瓷的无线无源传感器设计
被引量:2
2014年
设计一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器。电感器和电容器并联组成的LC谐振回路构成传感器的工作电路,采用厚膜工艺完成了平面螺旋电感器和平行板电容器的制备。传感器利用LC谐振回路的谐振频率对不同压力的响应来表征传感器的应变特性,采用2个电感耦合的方式来实现无线检测。测试结果显示:传感器的谐振频率随外加压力的增大而减小,其谐振频率变化对压力的响应灵敏度约为331.70 kHz/bar。
杨明亮
谭秋林
熊继军
康昊
李晨
关键词:
低温共烧陶瓷
无线无源
无线检测
平面螺旋电感
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