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江苏省科技支撑计划项目(BE2009261)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
田宗军
刘志东
黄因慧
汪炜
邱明波
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相关机构:
南京航空航天大学
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发文基金:
江苏省科技计划项目
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田宗军
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年份
1篇
2010
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P型太阳能级硅电火花线切割机理及工艺研究
被引量:3
2010年
根据半导体的特殊电性能建立了抽象的放电加工模型,该模型分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件模型近似代表半导体与金属进电端的接触势垒、半导体的体电阻、极间放电的维持电压以及工作液电阻;根据所建立的模型分析发现,半导体电火花线切割具有单向导通性、击穿电压高等特点,并且加工过程中进电端会出现钝化现象。为此,研制了针对P型太阳能级硅切割的专用夹具,并对电阻率为2.1Ω.cm的P型太阳能级硅锭进行了电火花线切割,切割效率大于100 mm2/min。
刘志东
邱明波
汪炜
田宗军
黄因慧
关键词:
硅
太阳能
电火花
线切割
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