福建省科技重大专项(2006HZ0002-4)
- 作品数：14 被引量：76H指数：6
- 相关作者：郭隐彪王振忠韩春光张世汉潘日更多>>
- 相关机构：厦门大学宁波大红鹰学院更多>>
- 发文基金：福建省科技重大专项国家高技术研究发展计划厦门市科技计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于最优分割和逐步回归方法的机床热误差建模方法研究被引量：11
- 2010年
- 根据机械结构的基本热变形模式,分析加工过程中的机床热误差模态,对温度测点进行初步选择.通过最优分割法优化温度测点和逐步回归法建模,将温度测点个数从初始的16个减少到3个热关键点.机床热误差模型拟合结果与实际热误差测量结果进行比较,检验结果说明该热误差模型精确度优良.
- 朱睿朱永炉陈真郭隐彪
- 离轴楔形非球面平行磨削及补偿技术研究被引量：9
- 2011年
- 针对精密光学系统中对高精度离轴楔形非球面透镜的加工要求,提出采用由倾角可调三轴摆动式数控夹具系统和精密磨床数控系统(Computer numerical control,CNC)协调完成离轴楔形非球面透镜的高效加工方法。设计三轴摆动式数控夹具机构及控制系统相关程序,完成夹具制造及调整,在数控精密平面磨床上实现对离轴楔形非球面平行磨削加工。倾角可调夹具的设计简化原有的加工工序,提高加工效率。根据平行磨削加工原理对加工插补误差和工件形面误差进行模拟计算,结果表明:夹具旋转误差以及工件的形状尺寸会对加工精度产生较大影响。根据模拟结果和平行磨削方法原理,设计工件加工误差的在位补偿方法。通过平行磨削加工及补偿试验证明:在位补偿方法可以有效提高工件的加工精度。
- 姜晨郭隐彪潘日韩春光张世汉
- 关键词：误差补偿
- 光刻机运动控制与网络监控技术研究被引量：2
- 2008年
- 光刻机是IC器件制造的关键设备之一,其工件台的高速度和高定位精度是获得高质量光刻和高效率的重要条件.本文通过对光刻机工件台运动速度模式、运动轨迹和定位误差补偿以及现代运动控制技术和网络监控技术的研究,应用运动控制器强大的计算能力,实现优化的速度模式和运动轨迹;应用电机编码器和直尺光栅作为反馈器件,实现全闭环控制;应用基于TCP/UDP协议的远程控制和视频监控技术,实现交互式的远程监控.在Windows操作系统下,用Visaul C++开发工具完成了控制系统的软件开发.实验结果表明,该系统能使工件台的定位精度达到±1μm,并具有较高的工作效率,体现了较高的应用价值.
- 黄沿江郭隐彪薛波
- 关键词：运动控制技术网络监控工件台
- 高速数控活塞加工系统的设计与实现被引量：1
- 2009年
- 高实时性是高速数控活塞加工机床加工的一项重要指标,本文所述机床采用了上下位机、多处理器结构数控系统的设计模式。系统使用Galil运动控制卡实现步进电机的实时控制。在Windows操作系统结构理论的基础上,运用多层次、模块化的思想,在Windows 2000操作系统下开发了高速数控活塞加工机床的数控软件系统,很好的满足了活塞加工的要求。该系统具有功能强大、界面友好、使用方便、柔性好等特点。目前,该系统的实际运动精度与理论值高度接近。
- 王哲郭隐彪张世汉
- 关键词：运动控制卡直线电机编码器
- 非球面精密检测系统的设计与实现
- 2009年
- 一直以来,非球面元件加工制造难度高,检测技术更是非球面制造技术中的瓶颈。本文介绍了一种基于无线网络的光学非球面精密检测系统的软、硬件工作原理及设计方案,通过对温度、变形、振动等性能量进行采样与数据分析的实验,证明了该系统的高效性和准确性。
- 饶睿智郭隐彪刘卫华
- 关键词：非球面数据分析远程监控
- 基于MFC与OpenGL的光学非球面仿真
- 2009年
- 本文研究了基于MFC和OpenGL的光学非球面仿真平台的设计方法,给出了MFC下对话框控件中绘制二维图形和OpenGL绘制三维图形的一般方法和步骤,实现了对轴对称非球面、非轴对称非球面的仿真以及非球面测量数据的读取与显示。
- 张世汉郭隐彪王哲
- 关键词：光学非球面MFCOPENGL
- 变椭圆活塞加工系统的设计
- 2009年
- 本文主要是基于DMC-1842系列运动控制卡来研究运动控制系统,根据活塞外圆车床设计要求,进行活塞外圆车床总体设计阶段工作,该设计为了解决中凸变椭圆活塞数控车削加工的高实时性要求,设计了具有上下位机、多处理器结构的数控系统,并对控制卡软件进行简单介绍.
- 刘卫华郭隐彪饶睿智
- 关键词：伺服运动控制硬件设计
- 基于微机电系统的振动能量采集器件设计分析被引量：19
- 2009年
- 微能量采集器中电容式采集器易与IC工艺集成,目前已知的传统电容式微能量采集器都需要外加电压,这在很大程度上限制电容式微能量采集器的实际使用。针对该问题,基于微机电系统工艺,提出功函数原理电容式微能量采集器,给出采用两种不同金属作为电容极板电极的采集器原理模型设计,并建立相应系统数学模型,计算大致悬臂梁长度的设置与范围,使用有限元模拟软件ANSYS进行进一步分析与优化设计。在此理论基础上设计出的新型振动能量采集器,可克服传统电容式微能量采集器需要外界提供电源这一缺点。
- 李林郭隐彪陈旭远
- 关键词：功函数微机电系统
- 先进光学磨削中杯形修整技术开发及应用被引量：10
- 2009年
- 对于金刚石砂轮修整,尤其是有高精度要求的圆弧金刚石砂轮,杯形砂轮修整技术可以获得较好的砂轮磨削性能以及修整效率。本文开发了配套超精密平面磨床使用的杯形修整器,分析了其机械误差影响,并完成了修整实验及砂轮表面测量及半径拟合处理,从宏观上考察了该修整器对砂轮磨削性能的提高,结果证明该修整器可以进行有效修整,提高了加工工具精度,能满足金刚石砂轮修整使用要求。
- 王振忠郭隐彪黄浩何良宇
- 关键词：超精密磨削杯形砂轮修整
- 大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用被引量：2
- 2011年
- 超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.
- 郭隐彪王振忠彭云峰杨炜毕果
- 关键词：微纳米加工
