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江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ13643)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：张效华陈义川刘细妹胡跃辉徐斌更多>>
相关机构：景德镇陶瓷学院更多>>
发文基金：江西省科技支撑计划项目江西省自然科学基金江西省主要学科学术和技术带头人培养计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇溅射气压
  • 1篇共掺
  • 1篇共掺杂
  • 1篇LI
  • 1篇掺杂
  • 1篇W
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇景德镇陶瓷学...

作者

  • 1篇张志明
  • 1篇徐斌
  • 1篇胡跃辉
  • 1篇刘细妹
  • 1篇陈义川
  • 1篇张效华

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射气压对Li-W共掺杂ZnO薄膜性能的影响被引量：3
2015年
通过RF磁控溅射在不同溅射气压环境中,在石英衬底上制备得到Li-W共掺杂Zn O薄膜(LWZO)。对样品进行X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透过率以及电阻率的测试。结果表明:适当溅射气压环境下,有助于提高LWZO薄膜的结晶质量;SEM结果显示随着溅射气压增加LWZO薄膜表面晶粒粒径更小,表面更平整;薄膜的透光率保持在85%左右。光致发光光谱表明:LWZO的光致发光由本征发光及缺陷发光组成,结晶度高以及择优取向好,本征发光强度强。同时,薄膜的最低电阻率也达到了6.9×10-3Ωcm。
陈义川胡跃辉张效华刘细妹张志明徐斌
关键词：共掺杂溅射气压ZNO薄膜
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