国家自然科学基金(61072007)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- 小功率微波微等离子体源的集成研究被引量：1
- 2014年
- 提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 关键词：频率可调
- 外加磁场对小功率微波微等离子体激励的影响
- 本文基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波微等离子体源,通过外加磁铁研究磁场对小功率微波微等离子体激励的影响。实验结果表明,当真空度为3.7Torr时,小功率微波微等离子体的激励功率随着外加磁场的增大而减小。这为小...
- 刘艺斌廖斌
- 关键词：外加磁场
- 文献传递
- 小尺寸多层平面式螺旋天线的仿真设计
- 本文介绍了一种小尺寸多层平面式螺旋天线,通过近场耦合实现在频率范围10~300 MHz之间的短距离数据通信。这种平面式结构采用PCB工艺,通过圆形螺旋绕组,由过孔连通每层线圈,并将不同螺旋圈数、不同层间距、收发天线之间不...
- 张欢廖斌
- 关键词：近场耦合PCB天线特性
- 文献传递
- 外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响被引量：1
- 2014年
- 为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法。首先对2.45GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840Gs的环形磁铁,测试得到加载磁场前后的S参数;最后通过改变磁铁及磁极方向,研究其对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响。实验结果表明:当空气气压为666.6Pa时,磁场强度和磁极方向均可使小功率微波微等离子体的激励功率和熄灭功率发生变化,且磁铁S极朝外更有利于激励;随着磁场强度的增大,激励功率逐渐减小;外加磁场时的最小激励功率比未加载磁场时的激励功率减小了15%。该研究结果在微化学分析系统、小尺寸材料的表面处理等领域具有良好的应用前景。
- 廖斌王新刚黄加华朱守正
- 关键词：微波微等离子体螺旋天线外加磁场
- 小尺寸多层平面式螺旋天线的仿真设计
- 2013年
- 本文介绍了一种小尺寸多层平面式螺旋天线，通过近场耦合实现在频率范围10～300MHz之间的短距离数据通信。这种平面式结构采用PCB工艺，通过圆形螺旋绕组，由过孔连通每层线圈，并将不同螺旋圈数、不同层间距、收发天线之间不同距离等对天线特性的影响进行仿真研究。仿真结果表明，随着天线圈数的增加，天线的谐振频率减小，电场减弱，而磁场增强。
- 张欢廖斌
- 关键词：近场耦合PCB天线特性
