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陕西省教育厅规划基金(11JK0837)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：杨若欣史永胜马猛飞杨巍巍刘丹妮更多>>
相关机构：陕西科技大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电特性
  • 1篇透明导电
  • 1篇结构特性
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇光电
  • 1篇光电特性
  • 1篇AZO
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇陕西科技大学

作者

  • 1篇刘丹妮
  • 1篇杨巍巍
  • 1篇马猛飞
  • 1篇史永胜
  • 1篇杨若欣

传媒

  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
AZO透明导电薄膜的制备被引量：2
2012年
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,并借助XRD、SEM等表征方法,研究了溅射功率和衬底温度对薄膜结构、表面形貌及光电特性的影响。结果表明,制备薄膜的最佳溅射功率和衬底温度分别为180 W、200℃,在此条件下制备的AZO薄膜具有明显的c轴(002)择优取向,其最低方块电阻为18/□,在可见光范围内的平均透光率超过91%,且透明导电性能优于目前平板显示器的要求,有望取代现在市场上的主流氧化铟锡(ITO)薄膜。
刘丹妮史永胜马猛飞杨巍巍杨若欣
关键词：AZO溅射功率衬底温度结构特性光电特性
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