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云南省省院省校科技合作计划项目(2003JAACA02A04)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：廖华刘祖明屈盛陈庭金更多>>
相关机构：云南师范大学更多>>
发文基金：云南省省院省校科技合作计划项目更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇体硅
  • 2篇迁移
  • 2篇迁移率
  • 2篇晶体硅
  • 2篇扩散层
  • 2篇函数
  • 2篇分段函数

机构

  • 2篇云南师范大学

作者

  • 2篇陈庭金
  • 2篇屈盛
  • 2篇刘祖明
  • 2篇廖华

传媒

  • 1篇太阳能学报

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
晶体硅扩散层有效杂质浓度分布的测量
利用阳极氧化去层结合四探针测量方块电阻的方法可以得到半导体扩散层中有效杂质浓度分布曲线。通过提出一个分段函数对n型硅的迁移率实验曲线进行拟合,使得分布曲线与实际分布更加接近。
屈盛刘祖明廖华陈庭金
关键词：迁移率分段函数
晶体硅扩散层有效杂质的浓度分布被引量：2
2006年
在求解半导体扩散层中有效杂质浓度分布时,如果将半导体的载流子迁移率μ当作常数,所得的结果与实际分布有较大的出入。为了将迁移率的变化考虑到计算中,提出一个分段函数对n型硅的迁移率实验曲线进行拟合。考虑载流子迁移率μ的分布后,实验求得的分布曲线与实际分布更加接近了。
屈盛刘祖明廖华陈庭金
关键词：迁移率分段函数
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