中央高校基本科研业务费专项资金(N110403002)
- 作品数:2 被引量:3H指数:1
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- 相关机构:东北大学沈阳发动机设计研究所更多>>
- 发文基金:中央高校基本科研业务费专项资金辽宁省自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺更多>>
- 聚碳酸酯表面射频磁控溅射类金刚石薄膜的摩擦学性能被引量:3
- 2013年
- 采用射频磁控溅射方法在聚碳酸酯片(PC)上沉积了类金刚石薄膜。利用激光拉曼光谱和扫描电子显微镜对薄膜的形貌及结构进行分析;采用表面粗糙度仪和球—盘式摩擦磨损试验机对薄膜的摩擦学性能进行测试。结果表明:利用射频磁控溅射方法在聚碳酸酯片上沉积的薄膜具有类金刚石特征;射频功率和直流偏压对sp3键含量有较大影响,并影响镀膜后聚碳酸酯材料的表面粗糙度。
- 程春玉蔺增王凤巴德纯
- 关键词:聚碳酸酯类金刚石薄膜射频磁控溅射摩擦学性能
- 种植体表面碳基薄膜的制备及生物摩擦学性能研究
- 以CH4和Ar为反应气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积的方法在纯钛基片上制备了类金刚石碳(DLC)膜。通过拉曼光谱(Raman)及X射线光电子能谱(XPS)分析了不同直流偏压条件下所制备DLC薄膜的结构;利用扫描电子...
- 蔺增巴德纯
- 关键词:DLC薄膜种植体
- 文献传递
- 聚碳酸酯表面碳基薄膜的制备及其光学性能研究
- 2014年
- 用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,用射频磁控溅射方法制备过渡层以提高膜基结合力及控制光路。本文利用激光拉曼光谱检测薄膜的微观结构,利用X射线光电子能谱分析试样中元素组成,利用扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,利用摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能,利用紫外-可见光分光光度计研究试样在沉积碳膜后的光学性能。结果表明:利用RF-PECVD方法在PC片上沉积的薄膜为DLC薄膜,试样的摩擦系数与薄膜中sp3百分比有关,其光学特性与薄膜中sp2百分比有关,通过对不同过渡层的研究发现使用Si过渡层对形成高质量高透光率的DLC薄膜更加有利。
- 程春玉蔺增王凤巴德纯
- 关键词:聚碳酸酯摩擦学性能光学性能