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中国博士后科学基金(20090461332)
中国博士后科学基金(20090461332)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
吴志明
赵国栋
蒋亚东
苏元捷
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相关机构:
电子科技大学
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发文基金:
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相关领域:
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苏元捷
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蒋亚东
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吴志明
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光电子.激光
年份
1篇
2011
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势垒层对黑硅光电探测器性能影响的研究
被引量:4
2011年
讨论势垒层Si3N4的引入对黑硅光电探测器光电性能的影响。探测器采用金属-半导体-金属(MSM)器件结构在黑硅层和电极间增加一层势垒层以提高肖特基势垒,从而减低器件的暗电流。实验表明,在相同的光照情况下,有势垒层的探测器暗电流比无势垒层的探测器暗电流至少低1个数量级,且势垒层厚度增加30nm其暗电流降低约1个数量级,而光电流无明显改变。结果表明,沉积势垒层可有效地降低黑硅MSM探测器的噪声电流,提高信噪比(SNR)。
苏元捷
蒋亚东
吴志明
赵国栋
关键词:
势垒层
暗电流
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